Представлено результати досліджень тензорезистивного ефекту в одношарових плівках Cr, Cu і Sc та тришарових на основі цих металів. Проведено порівняння коефіцієнта поздовжньої тензочутливості одношарових і тришарових плівок.

Наведено результати досліджень тензорезистивних властивостей одношарових Cr, Cu та двошарових Cu/Cr, Co/Cu плівок у разі великих деформацій (до 15 %).

Проведено дослідження фізико-механічних процесів, що відбуваються у чутливому елементі плівкового тензодатчика на різних стадіях його деформації, максимальне значення якої сягало 15 %. Розроблено експериментальну методику дослідження тензочутливості тонких плівок в області пружної (квазіпружної) та пластичної деформації. Методика дозволяє також діагностувати початок та ступінь розтріскування плівки в процесі випробування на розтягнення.

Розроблено методику експериментального вивчення тензорезистивних властивостей тонких плівок Cr в області пружної та пластичної деформацій. Методика дозволяє діагностувати початок та ступінь розтріскування плівки в процесі деформацій. Дослідження тензорезистивного ефекту в широкому діапазоні деформацій дозволяє виділити внесок внутрішнього розмірного ефекту в тензочутливість. На початкових ділянках деформаційних кривих виявлено залежність опору від часу, що пов'язано із мікропластичністю.

У межах моделі Маядаса - Шацкеса одержано точні й асимптотичні співвідношення для коефіцієнтів поздовжньої та поперечної тензочутливості полікристалічних плівок. Проведено детальний числовий розрахунок коефіцієнта поздовжньої тензочутливості за довільних значень параметрів, які описують об'ємну та поверхневу релаксації носіїв заряду. Здійснено апробацію одержаних асимптотичних співвідношень для коефіцієнта поздовжньої тензочутливості плівок міді, хрому та скандію.